Inpria desarrolla junto a SK hynix las resistencias de óxido de metal para reducir la complejidad de los patrones de DRAM de última generación

TOKIO–(BUSINESS WIRE)–JSR Corporation anunció hoy su acuerdo de desarrollo conjunto con SK hynix Inc. para aplicar Inpria, una resistencia de óxido de metal (MOR) con litografía ultravioleta extrema (EUV) de una empresa de JSR para la fabricación de chips DRAM avanzados. La plataforma de fotorresistores de óxido de metal para la EUV con amplia patente de Inpria permite a los clientes diseñar una arquitectura avanzada de dispositivos de nodos de manera eficiente.

Las soluciones de materiales de Inpria brindan el rendimiento necesario para reducir significativamente el costo del diseño de la EUV y son compatibles con procesos probados y configuraciones de equipos. La MOR de Inpria puede aplicarse mediante un proceso de revestimiento por rotación estándar.

“La fabricación de la EUV es compleja y requiere materiales de última generación”, dijo BK Lee, jefe de procesos de I+D en SK hynix. “Las resistencias de óxido de estaño prometen ofrecer tanto rendimiento como costos de fabricación más bajos para la próxima generación de DRAM de vanguardia”.

“La tecnología de JSR siempre se basó en la innovación de materiales”, indicó Tadahiro Suhara, director general de JSR. “Tenemos el compromiso de acelerar la hoja de ruta tecnológica de SK hynix al permitir la impresión eficiente de las características más pequeñas. La ciencia es pionera, pero también lo es la economía”.

La EUV ya se utiliza en la producción comercial en los procesos de litografía más avanzados usados en la fabricación de semiconductores y, a medida que la industria avanza hacia dimensiones cruciales más pequeñas en la fabricación de chips, se espera que su uso aumente significativamente.

Inpria es la empresa líder en resistencias de óxido de metal con EUV y la que ha logrado la resolución más alta del mundo utilizando sistemas de exposición EUV. JSR adquirió Inpria en 2021 y, a medida que aumenta la adopción de la EUV, invierte en expandir las capacidades de producción y los servicios de atención al cliente para lograr un alto volumen de fabricación.

Acerca de JSR Corporation

JSR Corporation es una empresa de tecnología de precisión que permite avances científicos y realiza sus aplicaciones prácticas. Con sede en Tokio, Japón, JSR asume los desafíos tecnológicos más exigentes como proveedor global para los clientes de las industrias de vanguardia. Nuestros productos y servicios impulsan los avances en los semiconductores que potencian nuestro mundo, aceleran el desarrollo de nuevas terapias para tratar enfermedades potencialmente mortales y mucho más. Para obtener más información acerca de cómo JSR enriquece a las sociedades de todo el mundo y mejora la calidad de vida, visite www.jsr.co.jp.

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